臺式電鏡主要用于各類微觀樣品表面形貌、組織結(jié)構(gòu)進(jìn)行快速檢測以及其元素成份分析，具有高低真空成像模式?？蓪饘俸推渌麑?dǎo)體以及作導(dǎo)電噴涂處理后的樣品采用高真空模式成像。對未經(jīng)導(dǎo)電噴鍍處理的非導(dǎo)電樣品可進(jìn)行原始狀態(tài)下的觀察，并保持樣品的原始形貌，得到真正的表面形貌。對含水量較高的樣品，可以在冷凍輔助下觀測形貌。配備能譜分析，可以對微區(qū)元素定性定量分析。配備離子濺射儀，可滿足無導(dǎo)電物質(zhì)噴濺需求。
臺式電鏡的制樣流程分析：
一、觀察形貌的塊狀樣品制備
清洗（干燥→吹掉浮粉）→固定→導(dǎo)電處理。
二、能譜分析的塊狀樣品制備
切割→鑲嵌→打磨拋光→腐蝕→清洗→固定→導(dǎo)電處理。
三、粉末樣品制備
1.對于小顆粒（＜100nm）
分散（取少量粉末于溶液中）→超聲分散→滴樣（取少量樣品滴于導(dǎo)電平滑襯底上，如Si片）→烘干→（導(dǎo)電處理）。
2.對于大顆粒（1um）
分散（取少量粉末撒于碳膠或銅膠表面）→吹掉多余→（導(dǎo)電處理）。
四、注意事項
1.雙面碳膠固定牢，否則在樣品艙內(nèi)會膨脹、放氣、導(dǎo)電性不佳、高倍下有漂移現(xiàn)象；
2.同一批次測試的樣品高度盡量一致，高度相差較大的樣品要分批測試；
3.導(dǎo)電性不理想的樣品可以進(jìn)行噴金操作，噴金不要太厚，2nm即可。
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